基本信息
| 标准名称： | 微束分析 扫描电子显微术 术语 |
| 英文名称： | Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Vocabulary |
| 中标分类： | 仪器、仪表 >> 光学仪器 >> 电子光学与其他物理光学仪器 |
| ICS分类： | |
| 发布部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2009-04-01 |
| 实施日期： | 2009-12-01 |
| 首发日期： | 2009-04-01 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 提出单位： | 全国微束分析标准化技术委员会 |
| 归口单位： | 全国微束分析标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 起草人： | 李香庭、曾毅 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2009-12-01 |
| 页数： | 32页 |
| 计划单号： | 20067089-T-469 |
适用范围
本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语,也包括已经在ISO23833中定义的术语。
本标准适用于所有有关SEM 实践的标准化文件。另外,本标准的某些术语定义,也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。
前言
没有内容
目录
前言Ⅰ 引言Ⅱ 1 范围1 2 缩略语1 3 SEM 物理基础术语1 4 SEM 仪器术语5 5 SEM 成像和图像处理术语10 6 SEM 图像诠释和分析术语14 7 SEM 图像放大倍率和分辨率校正及测量术语16 参考文献18 中文索引19 英文索引22
引用标准
没有内容
所属分类： 仪器 仪表 光学仪器 电子光学与其他物理光学仪器